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플라즈마 전원장치
Ion Implantation 고전압펄스전원장치
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Ion Implantation 고전압펄스전원장치

제품특징

  • 직렬 공진형 고주파 인버터 방식 채용
  • 고전압 IGBT Switch에 의한 펄스 제어
  • 고속 ARC Interrupt 기능

제품사양 

  • 펄스 출력전압 : 0 ~ 50 kV
  • 펄스 출력전류 : 0 ~ 100 A
  • 상승/하강시간 : 2 uS 이하
  • ARC Interrupt : 1 uS 이하

적용분야

  • Ion Implantation
  • 전자/이온빔 가속 전원
  • 금속 표면 처리
  • 폴리머 표면 처리


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[ 연락처 정보 ]
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icon Address Gyeonggi-do Ansan-si 4ba 506 Shihwa Industrial Complex, Sunggok-dong,
(우:425-110) 한국
icon Phone 82 - 31 - 3199320
icon Fax 82 - 31 - 3199327
icon Homepage www.dawonsys.co.kr
icon Contact Myoung-Gwan Jun /

 
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Tel : 82-31-319-9320 Fax : 82-31-319-9327